您当前的位置:首页 > tag列表 >

硅片标准

硅片

共找到 2硅片 标准

您是不是还在找: 硅钢片 工业硅 多晶硅

序号 资料名称 资料大小
1 GB/T 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法 2.8 MB

标准编号:GB/T 29505-2013
中文名称:硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
英文名称:Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer

标准介绍:
本标准提供了硅片表面粗糙度测量常用的轮廓仪、干涉仪、散射仪三类方法的测量原理、测量设备和程序,并规定了硅片表面局部或整个区域的标准扫描位置图形及粗糙度缩写定义。
本标准适用于平坦硅片表面的粗糙度测量;也可用于其他类型的平坦晶片材料,但不适用于晶片边缘区域的粗糙度测量。
本标准不适用于带宽空间波长le;10nm 的测量仪器。

2 GB/T 6617-2009 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法 666KB

标准编号:GB/T 6617-2009
简体名称:硅片电阻率测定 扩展电阻探针法
繁体名称:矽片電阻率測定 擴展電阻探針法
英文名称:Test method for measuring resistivity of silicon wafer using spreading resistance probe

标准简介:
本标准规定了硅片电阻率的扩展电阻探针测量方法。
本标准适用于测量晶体晶向与导电类型已知的硅片的电阻率和测量衬底同型或反型的硅片外延层的电阻率,测量范围:10-3 Ω·cm~102 Ω·cm


硅片国家标准不够全?没有找到您要的硅片行业标准规范?